Характеристики

ISBN/ISSN 978-5-7782-1560-3
Год издания 2011
Автор Геллер В.М., Хрусталев В.А.
Вид издания мон.НГТУ
Кафедра ЭЭ
Типография НГТУ
Факультет РЭФ
472 руб.

Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении.
Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго- и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов.
Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы – плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны.
Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона.
Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения.

Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении.
Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго- и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов.
Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы – плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны.
Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона.
Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения.



ОГЛАВЛЕНИЕ

Введение         7
Глава 1. Приборно-реакторные среды энерго- и массообмена        9
1.1.    Низкотемпературная плазма – активатор физико-химических
процессов        9
1.2.    Особенности плазмообразующих газов         10
1.3.    Активация процессов в неравновесной плазме        14
1.4.    Влияние электромагнитных колебаний с различными
частотно-спектральными характеристиками
на низкотемпературную плазму         22
1.5.    Энергетические воздействия на низкотемпературную плазму
детерминированного многочастотного колебания типа меандр        31
Глава 2. Обобщенный технологический процесс
(модельные представления)         39
Глава 3. Источники энергообеспечения реакторных комплексов        56
3.1.    Многокаскадные электромагнитные источники        56
3.2.    Исследование системы вида «активный распределенный
восьмиполюсник»        67
3.3.    Полигармонические высокочастотные источники        87
3.4.    Схемные методы оптимизации параметров мощных
автогенераторов        98
3.5.    Работа ГЗОС в режимах многочастотной детерминированной
генерации и автоколебательного шумообразования        103
3.6.    Исследование возможности эффективной генерации
высокочастотных шумоподобных колебаний        111
Глава 4. Конструкции плазмохимических реакторов        119
4.1.    Реакторные системы на базе  объемных резонаторов СВЧ        119
4.2.    Гибридные реакторные системы        123
4.3.    Протяженные и дискретно-распределенные плазменные
реакторы        125
Глава 5. Генераторы низкотемпературной плазмы
в современном приборостроении         133
5.1.    Емкостные генераторы плазмы        134
5.2.    Индукционные генераторы плазмы        138
5.3.    Гибридные генераторы плазмы        142
5.4.    Многоканальные генераторы плазмы        145
Глава 6. Активная элементная база построения источников
энергообеспечения реакторных комплексов        182
6.1.    Общие вопросы элементно-аппаратурного обеспечения
электротехнологий в ВЧ (СВЧ)  диапазоне        182
6.2.    Мощные приборы с сеточным управлением
для промышленных целей. Тенденции развития        184
6.3.    Сетевые магнетроны. Тенденции развития        196
Глава 7. Реальные плазменные и термические процессы
в приборостроении        209
7.1.    Оптимизация процессов высокочастотной термии         209
7.2.    Высокочастотная плазмотермия. Оптимизация методов
деструкции полимеров        227
7.3.    Использование низкотемпературной плазмы
в газовых лазерах        248
Заключение        282
Библиографический список        284

Данные подготавливаются.

Вернуться к списку